1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱:
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:
GSL-1700X-F3LV
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價格:
0.00 元
簡單介紹
GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，*高溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)的詳細介紹
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技術(shù)參數(shù)
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管式爐結(jié)構(gòu)
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采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
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保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
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內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
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加熱元件
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1800 grade MoSi2 ( 8根)
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*高工作溫度
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1700℃
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*大升溫速率
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5℃/min
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*大降溫速率
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5℃/min
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加熱區(qū)長度
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455mm (18")
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恒溫區(qū)長度
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150(+/-1℃) 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系
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溫控系統(tǒng)
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一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR
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可設置30段升降溫程序
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帶有過熱和斷偶保護
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控溫精度
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+/-1℃
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爐管材質(zhì)和尺寸
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99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
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（標配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length
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（選配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length
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密封法蘭
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兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表（圖片中的藍表為選配）和閥門
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通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr
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泄漏率*大6 mtorr/min
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輸入電源
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AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：*大5KW
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真空泵和配件
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真空泵
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一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內(nèi)
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通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr
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配件
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標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
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一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
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可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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氣體流量計
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3個浮子流量計（精-確度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體
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第1路氣體流量范圍為10-100 cc/min
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第2路氣體流量范圍為16-160 cc/min
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第3路氣體流量范圍為25-250 cc/min
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一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來監(jiān)測混合氣體的壓力
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四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
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運輸信息
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產(chǎn)品尺寸
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外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
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爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
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混氣系統(tǒng)：: 600 x 600 x 700mm 真空機組： 600 x 600 x 700mm
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凈重
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450 lb (總計)
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運輸重量
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500 lb (總計)
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質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件
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質(zhì)量認證
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CE certified
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