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產品名稱:
1700℃單溫區三通道混氣CVD系統
產品型號:
GSL-1700X-F3LV
產品展商:
MTI
產品價格:
0.00 元
簡單介紹
GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統采用三路浮子供氣系統，*高溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
1700℃單溫區三通道混氣CVD系統的詳細介紹
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技術參數
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管式爐結構
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采用雙層殼體結構，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
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保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能，減少熱量的損失
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內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
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加熱元件
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1800 grade MoSi2 ( 8根)
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*高工作溫度
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1700℃
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*大升溫速率
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5℃/min
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*大降溫速率
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5℃/min
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加熱區長度
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455mm (18")
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恒溫區長度
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150(+/-1℃) 注：由于測量手段及外部環境的影響，測量結果??能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據，請與我公司銷售人員聯系
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溫控系統
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一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR
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可設置30段升降溫程序
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帶有過熱和斷偶保護
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控溫精度
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+/-1℃
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爐管材質和尺寸
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99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
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（標配）OD: 60 mm：ID: 52mm x1000 mm length
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（選配）OD: 80 mm：ID: 72mm x1000 mm length
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密封法蘭
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兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經安裝機械壓力表（圖片中的藍表為選配）和閥門
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通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr
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泄漏率*大6 mtorr/min
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輸入電源
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AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：*大5KW
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真空泵和配件
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真空泵
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一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內
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通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr
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配件
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標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
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一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
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可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。
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氣體流量計
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3個浮子流量計（精-確度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體
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第1路氣體流量范圍為10-100 cc/min
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第2路氣體流量范圍為16-160 cc/min
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第3路氣體流量范圍為25-250 cc/min
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一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ，來監測混合氣體的壓力
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四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
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運輸信息
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產品尺寸
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外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
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爐體尺寸：550 x 500 x 700mm L x W x H
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混氣系統：: 600 x 600 x 700mm 真空機組： 600 x 600 x 700mm
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凈重
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450 lb (總計)
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運輸重量
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500 lb (總計)
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質保期
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一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件
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質量認證
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CE certified
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