多通道質(zhì)量控制高真空PECVD管式爐系統(tǒng)
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
多通道質(zhì)量控制高真空PECVD管式爐系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
PECVD
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡(jiǎn)單介紹
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）
我公司供應(yīng)的產(chǎn)品符合國(guó)家有關(guān)環(huán)保法律法規(guī)的規(guī)定（含采購(gòu)商ISO14000環(huán)境體系的要求），不會(huì)造成環(huán)境污染；
該產(chǎn)品符合含采購(gòu)商OHSMS18000職業(yè)**健康管理體系標(biāo)準(zhǔn)的要求，不會(huì)對(duì)接觸產(chǎn)品的人員健康造成傷害！
多通道質(zhì)量控制高真空PECVD管式爐系統(tǒng)的詳細(xì)介紹
|
產(chǎn)品型號(hào)：
|
PECVD-等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法
|
| 產(chǎn)品簡(jiǎn)介： |
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）
我公司供應(yīng)的產(chǎn)品符合國(guó)家有關(guān)環(huán)保法律法規(guī)的規(guī)定（含采購(gòu)商ISO14000環(huán)境體系的要求），不會(huì)造成環(huán)境污染；
該產(chǎn)品符合含采購(gòu)商OHSMS18000職業(yè)**健康管理體系標(biāo)準(zhǔn)的要求，不會(huì)對(duì)接觸產(chǎn)品的人員健康造成傷害！
|
| 實(shí)驗(yàn)機(jī)理： |
輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3
電子氣溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍
|
| 產(chǎn)品特點(diǎn)： |
雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。
因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。
下圖顯示的是PECVD法用500V交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計(jì)和高真空系統(tǒng)氣體組成
 
OTF-1200X開啟式管式爐，工作溫度高達(dá)1200℃ 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的組成圖
|
|
技術(shù)參數(shù)：
|
工作溫度：1200℃
爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用
溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：150mm
功率：AC 220V 4KW
輸出功率：50-500W*大可調(diào)±1%的穩(wěn)定性
RF頻率：2-150MHz的±0.005%穩(wěn)定可調(diào)
噪聲：≤55DB
冷卻：空氣冷卻
輸入功率：1KW AC 220V
采用KF25系列波紋管和精密球閥連接
真空度可達(dá)10-3torr
數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值
- 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量
- 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
- 一個(gè)氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況
- 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入的數(shù)量
- 進(jìn)氣口：采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
|
| 細(xì)節(jié)展示： |
   
點(diǎn)擊查看
|
| 外型尺寸： |
爐體：550*380*520mm
供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm
凈重：120KG
|
| 產(chǎn)品證書： |
 CE認(rèn)證 |
- 溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)與產(chǎn)品質(zhì)量。
- 免責(zé)申明：以上內(nèi)容為注冊(cè)會(huì)員自行發(fā)布，若信息的真實(shí)性、合法性存在爭(zhēng)議，平臺(tái)將會(huì)監(jiān)督協(xié)助處理，歡迎舉報(bào)
多通道質(zhì)量控制高真空PECVD管式爐系統(tǒng)相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品搜索
聯(lián)系方式
產(chǎn)品目錄