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小型PECVD管式爐系統(tǒng)
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD（等離子體氣相沉積）管式爐系統(tǒng)。此套設備帶有500W的等離子射頻電源，一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）和一個直聯式雙旋機械泵。因此這套設備模型可以更新為不同的PECVD系統(tǒng)。對于有限的經費的情況下來進行材料探索，此套系統(tǒng)極為理想。
雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)
雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)是一款雙爐體滑動的PECVD系統(tǒng)，并且連接有循環(huán)手套箱。此款設備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后，直接把樣品移入到氣氛保護環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
1000℃小型開啟式管式爐
1000℃小型開啟式管式爐是一款小型開啟式管式爐，其*高工作溫度可達到1000℃，爐管可以選用直徑為100mm或130mm的石英管，并且可配一套不銹鋼密封法蘭（上面安裝有不銹鋼截止閥和通氣接口），可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理?？刂葡到y(tǒng)與爐體分開，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。
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