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產品圖片	產品名稱/型號	產品簡單介紹
	帶有預熱系統的滑動PECVD	OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PE-CVD管式爐系統，組成部分為500W的射頻發生器、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐，預熱爐（作用為使固體原料蒸發）和德國進口的無油泵。此款PE-CVD對于生長納米線或用CVD，方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。
	1700℃單溫區三通道混氣CVD系統	GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統采用三路浮子供氣系統，*高溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
	三溫區三通道混氣CVD系統	三溫區三通道混氣CVD系統是一款通過CE認證的三溫區管式爐CVD系統，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統為3路浮子混氣系統。此高溫爐燒結溫度可達1700℃，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
	九通道混氣高真空CVD系統	九通道混氣高真空CVD系統GSL-1700X-80-HVC9 is CE certified 80mm diameter alumina tube furnace with vacuum pump system (up to 10-5 torr) and 9 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases f
	1700°C二通道混氣高真空CVD系統-GSL-1700X-4-HVC	GSL-1700X-4-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統，其爐管直徑為4英寸，它是由二路質子混氣系統和高真空機組組成，其高工作溫度可達1600℃，極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行*的混氣，然后導入到管式爐內部。
	多通道質量控制高真空PECVD管式爐系統	為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）我公司供應的產品符合國家有關環保法律法規的規定（含采購商ISO14000環境體系的要求），不會造成環境污染；該產品符合含采購商OHSMS18000職業**健康管理體系標準的要求，不會對接觸產品的人員健康造成傷害！
	1200℃Mini型 2通道CVD系統	OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數字式真空顯示計，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機械泵相連接（抽速為226L/m）。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統相連接。精-確的控溫系統提供30段升溫和降溫程序，其控溫精-確度為+/- 1 ℃ 。

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