產品型號：

GSL-1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀

產品簡介：

GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經過CE認證的緊湊型等離子鍍膜機。本機是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的，*簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。它的特別之處是在一個真空室內設計安裝了三個靶。旋轉樣品臺，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實驗室的各種復合膜樣品制備，及非導體材料實驗電極制作。

主要特點：

GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀主要特點如下：

1、配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監控儀器狀態；
2. 濺射電流調整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得*佳鍍膜效果；
3. 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現象；
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用；
5. 根據電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

技術參數：

GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀主要技術參數如下：

1、靶（上部電極）：直徑：45mm，厚度：0.12mm
2、真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
3、濺射面積：Ф45mm，三區域
4、真空指示表： *高真空度：≤4X10-2 mbar
5、離子電流表： *大電流：50mA
5、 定時器： *長時間：900S
6、微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管
7、可通入氣體： 多種
8、*高電壓：-1600（-3000）DCV
9、機械泵： 2L/S

產品規格：

標準配件：

可選配件：

各種靶材