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GSL-4Z混氣系統4路質子

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: GSL-4Z混氣系統4路質子
產品型號: GSL-4Z
產品展商: MTI
產品價格: 0.00 元

簡單介紹
GSL-4Z可以用于控制一種到四種的氣體流經真空密封的管式爐,這種氣體控制系統安裝在移動架上,管式爐可以放在GSL-4Z的上面,氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥。結合科晶集團的管式爐,它可以用于CVD系統及退火爐,用來研究氣體環境對材料的影響。

GSL-4Z混氣系統4路質子的詳細介紹

技術參數

功能模塊

項目

參數

混氣系統

質量流量控制器

工作電壓:185~245V/50Hz

*大輸出功率:18W

控制范圍:

  • 控制器1:0~100 SCCM
  • 控制器2:1~199 SCCM
  • 控制器3:1~199 SCCM
  • 控制器4:1~499 SCCM

工作溫度:5~45 oC

*大壓力:3x106 Pa

準確度:±1% FS

機械壓力表

測量范圍:

-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316不銹鋼

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥

Φ1/4”316不銹鋼針閥

尺寸

600x600x650 mm

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