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產(chǎn)品名稱:
混氣系統(tǒng)2路浮子
產(chǎn)品型號(hào):
CGM-2F
產(chǎn)品展商:
MTI
產(chǎn)品價(jià)格:
0.00 元
簡(jiǎn)單介紹
CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng)，用于惰性氣體的控制，可用以小型管式爐，手套箱，等離子清洗機(jī)，小型PECVD系統(tǒng)等。
混氣系統(tǒng)2路浮子的詳細(xì)介紹
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性能指標(biāo)和基本配置
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浮子流量計(jì)
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兩個(gè)浮子流量計(jì)可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min
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混氣罐
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內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣
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機(jī)械壓力表（混氣罐）
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-0.1-0.15 MPa
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關(guān)鍵和閥門
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● 采用ss304不銹鋼
● 三管件接口直徑為1/4”（接管可選聚四氟或不銹鋼）
 
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外形尺寸
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340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
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凈重
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約10 Kg
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可選
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● CVD或者PECVD
● 液相氣體發(fā)生器
● 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)--OTF-1200X-S50-2F
● Plasma等離子清洗
  
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保修期
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一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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