電壓

• 輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相  ( < 3200W )
• 輸出： 0 - 8VAC （可調）*大電流： 400A 
• *大功率：4000W（包括真空泵）

真空腔體

• 不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內壁做了電拋光處理
• 有兩個40mm的觀察窗口（采用無氧銅密封圈密封）
• 一個RF-150法蘭，便于放入樣品。
• 一個CF150法蘭，可與真空泵相連接
• 一個CF-16法蘭
• 七個CF-36法蘭，便于安裝真空計、電極和其他用途備用

真空泵

（點擊圖片查看詳細資料）

• 儀器中包括一臺高抽速的渦輪分子泵
• 抽速：600L/S
• 真空度：5.0x10-6 torr（泵開啟后40分鐘）
• 極限真空度：5.0x10-7  torr（烘烤溫度為100-150℃）
• 漏氣率：5.0x10-7Pa./S

蒸發加熱源 樣品臺

• 5個水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個鎢加熱舟
• 每個鎢舟上面安裝有可移動的擋板，所以實驗時可以實現多源共蒸發，也可實現順序蒸發
• 樣品臺安裝在真空腔體頂部，直徑為260mm
• 蒸發源與樣品臺的距離為300mm
  
  

測厚儀

• 一個高分辨度的薄膜測厚儀安裝在腔體內部
• 測量精度為：1.0?
  

循環水冷機

• 儀器使用過程中需要通冷卻水，為了節約用水，強烈建議使用循環水冷機
• 所需水流量>15L/min

控制單元

真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個控制盒內

控制單元和真空腔體獨立分開，以便于操作

外形尺寸

L600mm× W860mm× H1500mm

凈重

600kg

質保

一年質保期，終生維護

質量認證

CE認證