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產品名稱:
4路質子混氣管式PECVD系統
產品型號:
OTF-1200X-50-4CLV-PE
產品展商:
科晶
產品價格:
0.00 元
簡單介紹
為使化學反應能在較低的溫度下進行，常利用等離子體的活性來促進反應，這種方法稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）。加熱爐設備的內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可提高設備的加熱效率，同時也可延長設備的使用壽命。
4路質子混氣管式PECVD系統的詳細介紹
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性能指標和基本配置
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設備名稱
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4路質子混氣管式PECVD系統—OTF-1200X-50-4CLV-PE
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外形尺寸
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長*寬*高 2080mm*700mm*1520mm
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爐管規格
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外徑: 100mm
內徑: 96mm×長: 1800 mm
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加熱爐主要參數
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● *高溫度: 1200℃
● 額定工作溫度: 1100℃
● 推薦升溫速率:≤10℃/min
● 加熱區長度: L總：440mm（雙溫區包括隔環）
溫區一：200mm
溫區二：200mm
● 加熱爐額定功率：3KW
● 滑動方式：電動控制
● 滑動*大行程：600mm
● 電壓：單相AC 208 - 240V, 50HZ
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溫控系統
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● 歐陸EPC3000儀表
● 模糊PID控制和自整定調節功能
● 智能化24段可編程控制
● 帶過電流過電壓保護 漏電保護
● 電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認證標準
● 控溫精度: ±0.1℃
● 控溫：K型熱電偶兩根
● 通訊協議：modbus RTU
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軟件控制
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● 可視化運行狀態監控
● 溫控系統，氣路系統，真空系統，射頻系統，滑動爐體，開合爐體，壓力控制，全自動化，
● 數據記錄、過程記錄集成一體
● 預制工作流程，一鍵自動運行
● 具有恒壓功能，可以設定氣體流量和恒定壓力
● 壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進氣量為100-150sccm，管內壓力為 100-130pa，如總進氣量高于150sccm時，請更換抽速更高的泵，測試為總進氣量為1L/min（滿足四路質量流量計全開狀態時），使用VRD-60泵（抽速18L/s），*高真空為120-130pa（滿足起輝條件）,可在任意供氣量下設定任意氣壓值（該氣壓值需大于搭配泵體的*大真空值），氣壓值可自動穩定
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新式快捷法蘭
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可方便快速取放物料
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射頻電源
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● 500W射頻電源
● 0--500W可調（穩定性±1%）
● 射頻頻率：13.56MHZ
● 自動匹配 風冷
● 噪音＜50dB
● 輸入電壓：AC108-250V
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供氣系統
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● 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精-確控制（精-確度：±0.02%）
● 流量范圍：一路0-100 sccm
二路0-200 sccm
三路0-200 sccm
四路0-500 sccm
注：接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下
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真空系統
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● 搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進氣量小于150sccm，該泵可以達到等離子發生真空度）
● 搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進氣量1L/min，該泵可以達到等離子發生真空度）
● KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵
● 真空度可達10-2Torr
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備注
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注：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試，（有法蘭過熱情況）
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