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旋轉(zhuǎn)管式爐
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4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管式爐
4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管式爐,安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護環(huán)境下進行,可實現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對粉體材料進行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護環(huán)境下對處理好的粉料進行收集。此款管式爐設(shè)計主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。
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