對工件進行加工的時候，其精密研磨拋光機具有彈簧壓力作用，這也就決定了其不能進行一些強制性的修整平面的幾何形狀的精度，主要是受到了精密研磨拋光機、工件以及工具的工藝系統的影響。
精密研磨拋光機加工修整精度原理
如使用鏡面拋光機對工件的平面進行研磨拋光的時候，需要實現鏡面效果的工件對修整幾何形狀的幾何精度的這一原理運用，是有著重要的影響的，如果沒有這一修整幾何修整精度的原理，工件是無法得到*佳的鏡面效果的。在對整個工件的波紋的起伏的差異的程度才會變得更小，這也才可以對凹凸不平的工件能夠得到*佳的平面度以及鏡面效果提高一定的保證。
同時還由于超精密研磨拋光加工的優異研磨的特征，以及對工件進行加工的時候是可以修整波紋度的，當精密研磨拋光機如果是處于工件波紋的高峰位置的時候，則很有可能研磨工具被壓縮，而這個時候彈簧也是有一定的剛性的，在彈力增大的同時也使得精密研磨拋光機的研磨力度也隨著增大，從而也使得研磨拋光的去除量增大，這時對研磨的工件而言，其對工件而言，波紋的去除量會增大，而精密研磨拋光機處在波紋的低谷的位置的時候，這時其研磨拋光的彈簧就會被拉長，彈簧的壓力也會隨著減小，其所表現的研磨力度也會相應的減小，這也說明精密研磨拋光機的去除量在減小。
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