FFU既是風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的簡(jiǎn)稱(chēng)，它是一款自帶動(dòng)力的過(guò)濾凈化裝置。主要是有風(fēng)機(jī)和高效過(guò)濾器組合

而成的末端凈化設(shè)備，其主要工作過(guò)程是：由空調(diào)處理機(jī)把空氣（新風(fēng)）處理成所需要的狀態(tài)點(diǎn)后送入

靜壓箱與回風(fēng)混合，再經(jīng)過(guò)FFU的風(fēng)機(jī)加壓后經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器（HEPA）或超高效空氣過(guò)濾器（ULPA）過(guò)濾

后送入無(wú)塵室內(nèi)；而原本的舊風(fēng)則經(jīng)過(guò)架空地板或者側(cè)墻輸送回到干盤(pán)管，在干盤(pán)管中經(jīng)過(guò)冷（熱）處

理后，再由回壓機(jī)送回到靜壓箱，這便完成整個(gè)無(wú)塵室空氣過(guò)濾的循環(huán)。這樣的系統(tǒng)*常應(yīng)用在對(duì)無(wú)塵

室有超靜需求的場(chǎng)所，例如制作大型集成電路晶圓、TFT顯示器、固態(tài)硬盤(pán)等等的無(wú)塵車(chē)間。

FFU*主要的特點(diǎn)：

1．模塊化設(shè)備，可按需調(diào)整位置。
因?yàn)闈崈羰业谋诎宥际前凑仗旎ò甯褡拥哪?shù)來(lái)布置，并且由于其特殊的節(jié)點(diǎn)構(gòu)造，使得潔凈室的壁板

可隨時(shí)調(diào)整位置來(lái)改變房間的布局，以此達(dá)到車(chē)間生產(chǎn)需求。所以在房間布局做調(diào)整時(shí)，對(duì)于某一場(chǎng)地

的潔凈度需求，也可通過(guò)調(diào)整ffu的位置來(lái)滿(mǎn)足要求。FFU是自帶動(dòng)力的模塊化凈化設(shè)備，它不受場(chǎng)所過(guò)

多的限制，可隨時(shí)的調(diào)整位置或增減其數(shù)量來(lái)確保某一場(chǎng)地的潔凈度要求。這是以往的集中式送風(fēng)系統(tǒng)

所不能達(dá)到的。

2．出風(fēng)均勻穩(wěn)定。
選用特殊的空氣流通通道以及配有均流系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，出風(fēng)速度均勻而穩(wěn)定。這個(gè)相對(duì)于以往的集中式送

風(fēng)系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，避免了各送風(fēng)口風(fēng)量不平衡的問(wèn)題。

3．計(jì)算機(jī)控制，節(jié)能效果顯著。
FFU系統(tǒng)的風(fēng)管數(shù)量很少，除了新風(fēng)需要用到風(fēng)管輸送以外，大量的回風(fēng)都是以小循環(huán)的方式來(lái)運(yùn)行的，

因此大大降低了風(fēng)管的阻力，從而減少了消耗。并且由于FFU的面風(fēng)速一般是以0.45±20%的均勻輸出，

因此空氣通過(guò)過(guò)濾器的的阻力變小；FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的風(fēng)機(jī)功率很小，其大都采用高效率交流電機(jī)，同

時(shí)對(duì)風(fēng)機(jī)葉輪形狀也進(jìn)行了改進(jìn)，且材質(zhì)多采用鋁合金制作防止再次生塵，大大提高了其綜合效率。相

比于傳統(tǒng)的集中式送風(fēng)方式，使用FFU送風(fēng)過(guò)濾更能有效的節(jié)能40%以上。因此，雖然在初期FFU系統(tǒng)成本

比較高，但是在后期維護(hù)與能耗使用中能很好的節(jié)約回來(lái)。

4．縮短建設(shè)周期。
因?yàn)镕FU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的送風(fēng)系統(tǒng)不像集中式送風(fēng)那樣需要巨大的送回風(fēng)管，所以對(duì)于某些層高緊張的無(wú)

塵室改建項(xiàng)目是非常合適的，且*主要的是因?yàn)椴恍枰谱黠L(fēng)管，所以大大縮短了制作與安裝的工期，

對(duì)于企業(yè)來(lái)說(shuō)，縮短工期，快速開(kāi)工帶來(lái)收益，選用FFU成為了一種可能。

5．負(fù)壓通風(fēng)。
由于FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元自身能夠提供靜壓，所以其送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈室來(lái)說(shuō)，是負(fù)壓，送風(fēng)靜壓箱內(nèi)

的顆粒就不再受到壓力的作用而泄漏到潔凈區(qū)內(nèi)，因此即使風(fēng)口安裝出錯(cuò)，存在泄漏問(wèn)題，那也是從潔

凈室泄露到送風(fēng)靜壓箱中，從而使得密封變得更簡(jiǎn)單、更**。