一、用途:
GM-400E大平臺硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭.是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一.
二、技術參數
1.目鏡
類 別
放大倍數
視場(mm)
大視野目鏡
10X
φ18
2.物鏡
類 型
數值孔徑NA
工作距離(mm)
平場消色差物鏡
5X
0.12
18.3
0.25
8.9
20X
0.40
8.7
40X
0.60
3.7
80X
0.80
0.96
3.光學放大倍數:50X -- 800X 系統參考放大倍數:50X-5000X4.濾色片組:黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃5.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片6.載物臺:(配有快速移動裝置) 尺寸:250*230mm 移動范圍:153*153mm[標配] 尺寸:274*274mm 移動范圍:203*203mm[選配]7.粗微同軸調焦機構,微動手輪格值:0.002mm8.落射照明器:6V/20W鹵素燈,亮度可調9.防霉:特有的防霉系統
10.成像系統:500萬高像素的數字攝像頭
三、系統組成
大平臺硅片檢測顯微鏡(GM-400E): 1.顯微鏡 2.適配鏡 3、500萬高像素攝像頭
4、計算機(選配)
四、總放***倍數
電腦型硅片檢測顯微鏡(GM-400E):50--40000倍(17寸顯示器為例)
五、選購件
1.測量軟件 2.目鏡: 20X 10X(帶刻度)