我們知道IC生產工藝要求的是潔凈車間或超凈車間。但國內很少有廠家能做到無塵室里一粒particle都沒有,現在要求灰塵顆粒粒徑由原來的0.3μm降低到現在的0.1μm,但如果吸附的灰塵粒子的粒徑大于線條寬度時,很容易使產品報廢。
工序靜電防護做的很好,該接地的都接了,要用的防靜電設備及靜電測試儀用品也用了,而且凈化等級做的也很高,為什么放置一段時間后還會吸灰呢?那是因為生產加工晶片的機臺或工作車間都裝有FFU高效過濾器,當氣流與產品進行摩擦后就會產生靜電,靜電累積到一定量的時候就會吸附灰塵。所以我們建議在高效過濾器下端裝不帶氣源的防靜電設備及靜電測試儀來保證整個空間的動態平衡。
電放電是電荷積累的過程,當電荷積累到一定的程度,有個導體接近它就會產生靜電放電。舉個很簡單的例子,在干燥的冬季,人走動、摩擦后很容易積聚靜電,當我們碰到金屬把手或開汽車門的時候會有觸電的感覺,這就是靜電放電,一般人體帶有3000-5000V的靜電時就會有明顯放電的感覺。
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