
| 性能指標和基本配置 | |
|---|---|
| 名稱 |
小型4通道管式爐 |
| 爐體結構 |
● 爐體由4個小管式爐組成,采用氧化鋁爐管,尺寸為25 OD x 22 ID x 460 Lmm ● 每個加熱模塊都由獨立的溫控系統控制,*高溫度可達1700℃ ● 快速密封法蘭,安裝有機械真空壓力表,進氣端安裝有浮子流量計,樣品可在真空或氣氛保護環境下進行熱處理 ● 可同時放入4個樣品,在不同溫度下進行熱處理 ![]() |
| 加熱元件 |
硅鉬棒 |
| 工作溫度&恒溫區 |
● 連續工作溫度1600℃ ● *高工作溫度 1700℃(< 1 hrs) ● 恒溫區: 30mm(±1℃),60mm(±5℃) ![]() |
| 爐管 |
● 高純氧化鋁爐管:Φ25X L 460 mm,4根 ● 4個浮子流量計 ● 快速連接法蘭,KF25真空接口 ● 真空度:10-5 torr(采用分子泵) ● 有一真空泵接口(KF25),可在本公司購買各種真空泵 ![]() |
| 溫度控制 |
● 采用觸摸屏設置溫度程序,帶有超溫和斷偶保護 ● 4個溫區分別由4個獨立的溫控系統控制 ● 4根B型熱電偶 ![]() |
| *高加熱速率 |
10℃/ min |
| 控溫精度 |
±1℃ |
| 淬火(可選) |
此管式爐可升級為立式淬火爐(加上旋轉機構和淬火劑罐)![]() |
| 功率,工作電壓 |
6 KW, 208 - 240V單相, 50/60Hz |
| 質量認證 |
所有元器件(>24V)都通過UL / MET / CSA / CE 認證,客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CSA認證。![]() |
| 產品尺寸 |
1000 L x 650 W x 640 H mm![]() |
| 質保 |
一年質保期,終生維護(不包含爐管,密封圈和加熱元件) |
| 警告 & 應用注意 |
● 此管式爐,只可在真空或常壓狀態使用,爐管內的相對氣壓不可大于0.02MPa ● 進氣流量<200 SCCM ( 200ml/min) ● 向爐管內通氣的氣瓶上必須安裝雙級減壓閥(可在本公司購買) ● 可選購本公司的供氣系統,可用于進行CVD實驗 |
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