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產品名稱:
雙爐體滑動PECVD系統
產品型號:
OTF-1200X-PESDFG-50
產品展商:
科晶
產品價格:
0.00 元
簡單介紹
雙爐體滑動PECVD系統是一款雙爐體滑動的PECVD系統，并且連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接，允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后，直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式，可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
雙爐體滑動PECVD系統的詳細介紹
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技術參數
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雙爐體滑動PECVD系統爐體結構（點擊圖片查看詳細資料）
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● 兩個爐體在一個滑軌上面，和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果
● 連續工作溫度:1100℃
● 兩個爐體都可以設置30段升降溫程序
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等離子體射頻電源
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● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005%
● *大射頻功率: 500W
● 匹配: 自動匹配
● 噪音: <50 dB.
● 冷卻: 空氣冷卻
● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz
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真空系統
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● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr
● KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連
● 管內真空可達10E-2 Torr
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質量流量計混氣系統
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● 四個精密的質量流量計(精度1.5% ) ：數字顯示，自動控制
● MFC1范圍: 0~100 sccm
● MFC2和3: 0~200 sccm
● MFC4范圍: 0~500 sccm
● 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口
● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體
● 進氣口: 4個1/4NPS
● 出氣口: 4個 1/4NPS.
● 采用PLC控制流量計，通過觸摸屏進行控制
● 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統
 
  
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爐管&密封法蘭
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● 高純石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L
● 配有一套不銹鋼密封法蘭，并且上面安裝有真空計
 
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防腐型真空計
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● 輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉換器）
● 測量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.
● 數據顯示 數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr
● 接頭 KF16 接頭
● 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
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循環手套箱
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● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)
● 帶有除水系統：保持水含量< 2 ppm
● 一真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管相連接
  
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質保期
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一年質保期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
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質量認證
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● CE 認證
● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認證
    
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