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雙爐體滑動PECVD系統

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 雙爐體滑動PECVD系統
產品型號: OTF-1200X-PESDFG-50
產品展商: 科晶
產品價格: 0.00 元

簡單介紹
雙爐體滑動PECVD系統是一款雙爐體滑動的PECVD系統,并且連接有循環手套箱。此款設備中石英爐管與一循環手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式,可在室驗中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。

雙爐體滑動PECVD系統的詳細介紹

技術參數
 雙爐體滑動PECVD系統爐體結構(點擊圖片查看詳細資料)

● 兩個爐體在一個滑軌上面,和通過對爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果

● 連續工作溫度:1100℃

● 兩個爐體都可以設置30段升降溫程序

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等離子體射頻電源

● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005%

● *大射頻功率: 500W

● 匹配: 自動匹配

● 噪音: <50 dB.

● 冷卻: 空氣冷卻

● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz

真空系統

● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr

● KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連

● 管內真空可達10E-2 Torr

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質量流量計混氣系統

● 四個精密的質量流量計(精度1.5% ) :數字顯示,自動控制

● MFC1范圍: 0~100 sccm

● MFC2和3: 0~200 sccm

● MFC4范圍: 0~500 sccm

● 一個混氣罐,底部裝有泄廢液口

● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體

● 進氣口: 4個1/4NPS

● 出氣口: 4個 1/4NPS.

● 采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制

● 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統

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爐管&密封法蘭

● 高純石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

● 配有一套不銹鋼密封法蘭,并且上面安裝有真空計

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防腐型真空計

● 輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉換器)

● 測量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.

● 數據顯示 數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為torr

● 接頭 KF16 接頭

● 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

1
循環手套箱

● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

● 帶有除水系統:保持水含量< 2 ppm

● 一真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統的石英管相連接

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質保期 一年質保期,終身維護(不包含爐管,加熱元件和密封圈)
質量認證 ● CE 認證
● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認證
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