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MOCVD

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產品名稱: MOCVD
產品型號: MOCVD
產品展商: MTI
產品價格: 0.00 元

簡單介紹
MOCVD設備將Ⅱ或Ⅲ族金屬有機化合物與Ⅳ或Ⅴ族元素的氫化物相混合后通入反應腔，混合氣體流經加熱的襯底表面時，在襯底表面發生熱分解反應，并外延生長成化合物單晶薄膜。

MOCVD的詳細介紹


MOCVD設備將Ⅱ或Ⅲ族金屬有機化合物與Ⅳ或Ⅴ族元素的氫化物相混合后通入反應腔，混合氣體流經加熱的襯底表面時，在襯底表面發生熱分解反應，并外延生長成化合物單晶薄膜。


 

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