德國ARNOLD的72/860多晶硅表面研磨機

這款72/860適合用于研磨切方后的單晶硅和多晶硅表面，72/860多晶硅表面研磨機帶有4個平行的磨頭單元。工件的尺寸為125 x 125 mm 和156 x 156mm。可研磨的長度是從180到1000mm。

*自動更換加工規格(125/156)

*為手動和全自動裝載配有兩個不同的裝載區，例如使用工業機器人進行全自動裝載

*通過平行的磨頭單元進行幾何修正

*非常高的重復性

*氣動夾持和對中工件

*切方后的硅錠不需任何準備工作進行加工

*自動糾正補償生產過程中的工具損耗

*通過使用高分辨率測量系統進行自動對帶檢測的打磨工具調整以優化加工時間

*檢測和分析磨削后工件特有的質量參數，如幾何測量、棱角等

*由4個磨輪，通過粗磨和精磨過程，實現大的硅磨削量，確保高的產量

多晶硅表面研磨機配有SPS Simatic –S7 IPC工控機和15”觸摸屏及傳感器。可另選ARPAT生產分析軟件，數據和分析可儲存在微軟SQL數據庫中。

72/860.1000

工件長度：400-1000mm

72/860.500

工件長度：180-500mm

工件規格：125 x 125mm

          156 x 156mm

工件重量： *大30Kg

壓縮空氣：6 – 8 bar

冷卻：水

設備重量：約6500Kg

另選：

工件規格：210 x 210 mm²

ARPAT- ARNOLD遠程生產分析工具

工件質量數據：

*棱角：+/-0.02⁰ （89.980⁰ – 90.020⁰）

*硅錠寬度幾何公差：+/-0.05mm

*算術表面粗糙度Ra < 0.1μm

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