技術(shù)參數(shù)
主要特點
a）獨立的專業(yè)分析系統(tǒng)，嚴(yán)格用于晶片分析，長時間的穩(wěn)定性和優(yōu)良的重現(xiàn)性 b）機器人移動樣品技術(shù)，自動進行樣品測定，快速測定能力 c）提供與Nexus相兼容的ECO模塊，可自動分析各種尺寸的晶片 d）軟件支持SEmI E84、E87、E90、E40 300mm f）配備自動分析臺