上海加惠儀器儀表有限公司

主營產品：

上海加惠儀器儀表有限公司代理品牌有，意大利HANNA，德國LOVIBOND，美國HACH，美國NK，德國尼克斯，德國德威爾，日本HORIBA ，加拿大BW ，臺灣一諾，香港希瑪，德國德圖，瑞士徠卡，上海六表，主要銷售的儀器：水質分析儀器，風速氣象儀，涂層測厚儀，氣體流量控制器，壓力表，測力計，測距儀，兆歐表，溫度產品，氣體檢測儀，電話15921864995 021-64697348

全部產品分類

企業信息

第18年

入駐時間： 2006-09-21
聯系人：孫靜
電話：021-64683632
聯系時，請說明易展網看到的
Email：937332326@qq.com

推薦產品

產品詳情

所在位置: 首頁> 產品目錄> HORIBA流量計 HORIBA質量流量控制器> 液體材料氣化系統>

查看大圖

產品名稱：VC1310 非載氣直接注入式液體汽化器
產品型號：
產品廠商：日本HORIBA
產品價格：0
折扣價格：0
產品文檔：

你添加了1件商品查看購物車

簡單介紹：

HORIBA的液體源汽化系統包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監測/汽化原理制作產品，比如壓差監測法或HORIBA更早前開發的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統。我們多種不同的汽化系統以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。 HORIBA還擁有高精度、高速數字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。 HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經驗

詳情介紹：

商品詳情

Horiba 直接注入式液體汽化器VC1310

非載氣，5scmm

概要

由于是無載體類型，所以可以構筑小型氣化系統
由于通過質量流量來測定發生量，所以可以不必受到溫度?壓力的影響進行液體材料的氣化供給。

特征

超小型：只有原來的1/5
高速完全氣化：可以瞬間完全氣化被供應的液體。
安裝固定方向自由：無論在哪一個安裝固定方向，都可以保持相應功能。
不需要氣泡式容器、氣化容器

規格

VC-1310
產生流量 (TEOS發生時)	小于1.0 CCM (液相的換算) ※1
對象液體種類	會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
可升溫溫度	上限值 150℃
接氣部材質	SUS-316L (PTFE)
耐壓	1.0MPa(G)

VC-1310
產生流量 (TEOS發生時)	上限值5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1
對象液體種類	會腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外
可升溫溫度	上限值 150℃
接氣部材質	SUS-316L (PTFE)
耐壓	1.0MPa(G)

※1　不同的液體種類將會有所差異。請進行咨詢協商。

液體源汽化系統
HORIBA的液體源汽化系統包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監測/汽化原理制作產品，比如壓差監測法或HORIBA更早前開發的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統。我們多種不同的汽化系統以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。

HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經驗

Acetic Acid	Benzene	B(OCH3)3	BTBAS	C6F6
Cyclohexane	Decyl-TMOS	DPM	DPMS	Ethanol
Ge(OCH3)4	GeCl4	H2O	HCD	HDFDA
HMDS	HMDSO	i-Octane	IPA	Me-Cyclohexane
Methanol	n-Octane	OMCTS	OMTS	P(OCH3)3
PO(OCH3)3	SAM24	Si(CH3)4	Si(OCH3)4	SiCH3Cl3
SiCl4	SiH(OCH3)3	SiHCl3	Ta(OC2H5)5	TBTDETa
TDEAHf	TDEAT	TDMAS	TDMAT	TEB
TEMAHf	TEMAZr	TEOS	TEPO	THF
Ti(O-iPr)4	TiCl4	TMCTS	Toluene	1,3-DMA