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企業信息
第18年
- 入駐時間： 2006-09-21
- 聯系人：孫靜
- 電話：021-64683632
-
聯系時，請說明易展網看到的
- Email：937332326@qq.com
產品詳情
簡單介紹：
應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列
應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列暢銷型號：EC-5104、EC-5105概要 Horiba品牌的EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成，
詳情介紹：
商品詳情
應腔室排氣壓力控制器 EC-5000系列
暢銷型號：EC-5104、EC-5105概要
Horiba品牌的EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應室的壓力值始終穩定在客戶要求的設定范圍。高分辨度的步進式馬達和獨特的蝶形閥設計確保了本產品的高速、高分辨度響應。
特征
- 抗腐蝕
- 使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供
- 適合對于腐蝕性氣體的使用
- 抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
- 阻止了噴霧的次級沉積
-
阻止了危險水蒸氣的擴散此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產品造成的影響更小
- 此產品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業前，必需從日本經濟產業省的相關部門獲得出口許可證件。
規格
|
Model EC- |
5104 |
5105 |
5202 |
|
|
Compatible size |
NW40 |
NW50 |
25 mm PTFE fitting |
1 inch PTFE fitting |
|
Materials at gas contact area |
SUS316L, Fluoro rubber |
PTFE, PEEK, Fluoro rubber |
||
|
Conductance |
0.4 to 80L/s |
0.6 to 200L/s |
—— |
|
|
Outflow at 100 mm H2O |
20L/min |
25L/min |
3L/min |
|
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