CGM-2F混氣系統2路浮子

產品概述：

CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統，用于惰性氣體的控制，可用以小型管式爐，手套箱，等離子清洗機，小型PECVD系統等。

浮子流量計：兩個浮子流量計可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min

混氣罐：內置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣

機械壓力表（混氣罐）：-0.1-0.15 MPa

關鍵和閥門：

·采用ss304不銹鋼

·三管件接口直徑為1/4”（接管可選聚四氟或不銹鋼）

外形尺寸：340 mm L x 300 D mm x 180 H mm

可選：

·CVD或者PECVD

·液相氣體發生器

·1200℃微型二通道混氣CVD系統--OTF-1200X-S50-2F

·Plasma等離子清洗

凈重：約10 Kg

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