無塵室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。
 
無塵室的平面布置可以有以下幾種方式：
 
1.外廊環繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。
 
2.內廊式：無塵室設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，甚至和無塵室同級。
 
3.兩端式：無塵區設在一邊，另一邊設準無塵和輔助用房。
 
4.核心式：為了節約用地、縮短管線，可以潔凈區為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響，減少了冷熱能耗，利于節能。
 
二、人身凈化路線
 
為了在操作中盡量減少人活動產生的污染，人員在進入潔凈區之前，必須更換潔凈服并吹淋、洗澡、**。這些措施即"人身凈化"簡稱"人凈"。人凈用房中更換潔凈服的房間應予送風，并對入口側等其他房間保持正壓，對廁所、淋浴保持少許正壓，而廁所、淋浴應保持負壓。
 
三、物料凈化路線
 
各種物件在送入潔凈區前必須經過凈化處理，簡稱"物凈"。

物料凈化路線與人凈路線應分開，如果物料與人員只能在同一處進入潔凈室，也必須分門而入，物料并先經過粗凈化處理。對于生產流水線不強的場合在物料路線中間可設中間庫。如果生產流水線很強，則采用直通式物料路線，有時還需要在直通路線中間設多次凈化、傳遞設施。在系統設計上，物凈用房的粗凈化和精凈化階段由于會吹落很多生微粒，所以相對潔凈區應保持負壓或零壓，如果污染危險性大則對入口方向也要保持負壓。