無塵車間的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。

   無塵車間內(nèi)如何控制微粒子濃度呢？

1、不攜入人、機(jī)、料進(jìn)無塵車間不攜入微粒子

    （1）進(jìn)入無塵車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等，再通過風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進(jìn)入無塵車間。

    （2）機(jī)器、材料進(jìn)無塵車間前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵車間前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進(jìn)入無塵車間。

    （3）無塵車間中須全程穿戴密閉式**帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。 

2、不發(fā)生無塵車間內(nèi)動態(tài)環(huán)境下機(jī)、料的不發(fā)生控制；

     在控制*大污染源--人在無塵車間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應(yīng)控制**大污染源—制造機(jī)臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到*小限度應(yīng)采取以下對策：

    （1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

    （2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

    （3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

 
3、不儲備：

     現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及機(jī)臺的掣動（動態(tài)），無塵車間要想達(dá)到動態(tài)潔凈級別，因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險性。控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵車間內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

 
4、排除/除去

在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中，為了不讓無塵車間內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策

    如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是**理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵車間外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵車間內(nèi)之對策。