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潔凈室靜電的危害及處理方法

日期:2025-11-30 10:49
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摘要:  (1)的組成部分的絕緣性的氧化膜的擊穿,引線燒斷或保險(xiǎn)絲。如果人的身體帶來10KV(100PF)的靜電荷,觸摸屏設(shè)備腳ESD,地球的形成瞬間脈沖峰值放電電流可達(dá)20A(10?100秒),更不用提高密度,細(xì)直徑,薄SiO2薄膜的大規(guī)模集成電路,超大規(guī)模集成電路,IC,MOS也會(huì)遭受損傷。   一般來說的移動(dòng)設(shè)備的絕緣柵SiO2薄膜場(chǎng)強(qiáng)度E =(5-10)所述106V/cm的移動(dòng)設(shè)備SiO 2膜的厚度為1000,施加到器件的輸入引腳靜態(tài)電壓高于50V-100V的擊落穿的耐壓,并人體靜電超過50V,100V是極不尋常。   (2)引起的噪音,電磁干擾發(fā)射   ESD引起的E...

 (1)的組成部分的絕緣性的氧化膜的擊穿,引線燒斷或保險(xiǎn)絲。如果人的身體帶來10KV(100PF)的靜電荷,觸摸屏設(shè)備腳ESD,地球的形成瞬間脈沖峰值放電電流可達(dá)20A(10?100秒),更不用提高密度,細(xì)直徑,薄SiO2薄膜的大規(guī)模集成電路,超大規(guī)模集成電路,IC,MOS也會(huì)遭受損傷。
  一般來說的移動(dòng)設(shè)備的絕緣柵SiO2薄膜場(chǎng)強(qiáng)度E =(5-10)所述106V/cm的移動(dòng)設(shè)備SiO 2膜的厚度為1000,施加到器件的輸入引腳靜態(tài)電壓高于50V-100V的擊落穿的耐壓,并人體靜電超過50V,100V是極不尋常。
 
  (2)引起的噪音,電磁干擾發(fā)射
  ESD引起的EMI電磁,頻率范圍前,后峰較尖,信號(hào)強(qiáng),在電路中幾伏的能量相當(dāng)于幾百M(fèi)H2的MH2非常強(qiáng)烈的噪聲可能會(huì)導(dǎo)致?lián)p壞的元件,設(shè)備和傳感器不正常工作,甚至?xí)?dǎo)致設(shè)備崩潰。
  ESD引起的EMI也觸發(fā)輸入的誤差信號(hào)或閂鎖現(xiàn)象的發(fā)生。如潔凈室,EMIF盒上的鋼模臺(tái)車的晶圓,晶片ESD將通過電感的車,車輪絕緣,EMI擴(kuò)散的原因晶圓處理器崩潰。
 
  (3)沖擊體
  ESD對(duì)人體或人體ESD當(dāng)超過人體電擊極限電流5mA或更多的人會(huì)產(chǎn)生各種傷害的人的感情,導(dǎo)致員工情緒不安,操作錯(cuò)誤。
  潔凈室半導(dǎo)體,平板顯示器,光電,盡管做了很多工作,但潔凈室的靜電問題仍然影響著**生產(chǎn)和產(chǎn)量,對(duì)生產(chǎn)成本和效益的影響,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。國(guó)外業(yè)內(nèi)專家估計(jì),每年在美國(guó)造成的損失的產(chǎn)品由于靜電8-33%,平均估計(jì),每年在美國(guó)的價(jià)值高達(dá)10美元十億靜電損壞日本在20世紀(jì)80年代,為電子行業(yè),電子產(chǎn)品報(bào)廢的分析ESD造成的損失占國(guó)內(nèi)的1/3。平板LCD,半導(dǎo)體,光電,有一個(gè)起步較晚,靜電的危害時(shí)有發(fā)生,收益率越低。銀行,證券公司,機(jī)密數(shù)據(jù)庫,控制中心,電力調(diào)度室等,如果ESD是很容易造成干擾,數(shù)據(jù)丟失,情況更為嚴(yán)重。

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