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測量顯微鏡基本原理
測量顯微鏡基本原理:
測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學研究等部門。測量顯微鏡的工作臺除作X、Y坐標的移動外,還可以作360?;的旋轉,亦可以進行高度方向做Z坐標的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進行數(shù)據(jù)處理等測量。是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。測量顯微鏡主要使用與電子工業(yè)、五金行業(yè)、以及一些精密工程,在塑膠行業(yè)和醫(yī)療業(yè),生物物醫(yī)學、公安系統(tǒng)等等有廣泛的應用,特別是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構造,觀察零件直接的**距離,是不可缺少的精密儀器。
測量顯微鏡使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表面作光柵式掃描。當針尖和樣品表面的距離非常接近時,針尖**的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力,此時,微懸臂就會發(fā)生微小的彈性形變。所以,只要測出微懸臂形變量的大小,就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。針尖與樣品之間的作用力與距離有強烈的依賴關系,所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒定,即保持為懸臂的形變量不變,針尖就會隨樣品表面的起伏上下移動,記錄針尖上下運動的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。
1、直角坐標中測定長度
2、旋轉度盤測定角度
3、用作觀察顯微鏡
4、利用微微動載物臺之移動,配全目鏡之十字座標線,作長度量測。
5、利用旋轉載物臺與目鏡下端之游標微分角度盤, 測量顯微鏡
配全合目鏡之址字座標線,作角度量測,令待測角一端對準十字線與之重合,然再讓另一端也重合。
6、利用標準檢測螺紋的節(jié)距、節(jié)徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。
7、檢驗金相表面的晶粒狀況。
8、檢驗工件加工表面的情況。
9、檢測微小工件的尺寸或輪廓是否與標準片相符。

