| 潔凈度等級 | 靜態塵粒*大允許濃度數/m3 | 動態塵粒*大允許濃度數/m3 | ||
| ≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
| A級 | 3500 | 1 | 3500 | 1 |
| B級 | 3500 | 1 | 350000 | 2000 |
| C級 | 350000 | 2000 | 3500000 | 20000 |
| D級 | 3500000 | 20000 | / | / |
| 潔凈度等級 | 浮游菌 cfu/m3 | 沉降菌(φ 90mm)cfu/4h | 表面微生物 | |
| 接觸(φ55 mm)cfu/碟 | 5 指手套 cfu/手套 | |||
| A級 | <1 | <1 | <1 | <1 |
| B級 | 10 | 5 | 5 | 5 |
| C級 | 100 | 50 | 25 | / |
| D級 | 200 | 100 | 50 | / |