| 項目 粒徑 | 潔凈室建筑表面發塵量 {粒/(min·㎡地面)} | 人員發塵量{粒/(人·min)} | |
| 靜止(基本靜止) | 人員正常操作 | ||
| ≥0.5μm | 1.25*104 | 10*104 | 50*104 |