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粒子計數器技術要求
塵埃粒子計數器技術要求
項目
技術要求
靈敏度（分辨率*）
0.1µm-5µm范圍內粒徑分辨率≦10%
測量不確定度
在粒徑設定檔，濃度誤差±20%
校準周期
不超過12個月，或規定的性能驗證時
計數效率
*小粒徑閥值時（50±20%），大于或等于*小粒徑閥值的1.5倍時（100±10%）
低濃度范圍
與實際預期的*低計數相比，偽計數不顯著。自凈階段計數在一段時間內等于零（例如，5min內無計數）
高濃度范圍
在使用點，大于設施潔凈度上限濃度2倍，且不超過制造商建議*大濃度的75%
*注：粒徑分辨率大于10%的儀器，給出的粒子計數結果可能有高達1個數量等級的波動。

粵公網安備 44030602002041號
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