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產品簡單介紹
電化學ECV
CVP21
電化學ECV
電化學CV分布儀(CV測試儀)
CVP21
全自動電化學CV 分布儀 CVP21 本設備適用于評估和控制在半導體生產中的外延過程并且以被使用在多種不同的材料上, 例如:Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides. CVP 21 的凈室和模塊化的系統設計結構使得本系統可以高效率,準確的測量半導體材料(結構,層)中的摻雜濃度分布.選用合適的電解液與材料接觸,腐蝕,從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過程由軟件全自動控制
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