本發明公開了一種大功率激波前測試儀及波前測量方法.解決多路大功率激光相干合成中單路激光波前分析及任意兩路激光的相位差測量.測量儀由機械快門,光束取樣反射鏡,縮束光學系統,透射式衰減器,反射式衰減器,哈特曼波前測試儀,相位差探測CCD相機和計算機組成.測量儀工作時,機械快門只在波前測量時打開,用哈特曼波前分析儀對各單路激光波前進行測量,同時用相位差探測CCD相機記錄各單路激光的光強分布;將一路激光作為基準,依次打開其它各路激光分別與基準激光干涉;用相位差探測CCD相機測出每兩路激光相干合成后的光強度,得到各路激光相對于基準激光的相位差;同時用哈特曼波前分析儀對相干激光合成后的波前進行測量. 波前測試儀(wave front sensor),實時測量成像系統瞳面波前誤差,然后將這些測量數據轉換成自適光學系統的控制信號,并對成像系統的光學特性進行實時控制,實時校正入射光束波前變形,從而補償又大氣湍流引起的波前畸變,使物鏡得到接近衍射極限的目標像(Roddier,1999;Hardy,1988).