| 1 無塵室工程定義：指在特定的溫度、濕度和壓力下，控制微粒產生源，使其空氣中粒子數保持在一定水平的一個密閉空間。
2 凈化級別標準：無塵室工程凈化級別是根據每立方英尺空氣中粒徑大于劃分標準的粒子數量來規定的。目前國際上較為大家廣泛接受和認可的凈化級別標準：ISO14644-1標準，取代了原來的FED STD 209E，并在原基礎上有所增加。
3 無塵室工程凈化裝置工作原理
通過空氣處理裝置（加熱或冷卻），將空氣流送入管道，并通過空氣預過濾和末級過濾裝置，將潔凈的空氣送入工作室中。同時通過工藝排風，將室內空氣送回到空氣處理裝置，經過循環往復，達到室內空氣凈化的目的。
4 無塵室工程按照室內氣流形式分為：非層流式，層流式，混合式。
非層流式（Conventional Airflow Type），又稱亂流式。如同一般空調一樣，逆風從頂棚，墻壁等一部分吹出，回風從墻壁，地板的一部分吸入。
層流方式（Laminar Airflow Type），在層流潔凈室中，氣流被調整得非常好，從室內一側平穩地流向其對應的另一側。因此，層流方式具有兩個特點：一是可以將污染源散發出來的塵埃在未向室內擴散以前被壓出室外；二是潔凈的空氣對污染源有隔離作用，隔斷塵埃向空間散發。
混合方式（Mixed Airflow Type），亂流式和層流式在同一間房間內組合使用的方式，就潔凈使用上看，往往只是部分房間要求高潔凈度，而不是整個房間。因此，層流部分盡量減小，其他部分用亂流方式替代，可以使凈化設備更有效的發揮作用。
5 無塵室工程污染的種類
A，微粒與纖維 B，化學物品 C，**
6 Source Of Contamination
A Facilities，Walls，floors and ceilings.Paint and coatings Air conditioning debris ，Room air and Vapors ，spills and leaks.
B People，skin flakes and oil，Cosmetics and Rerfume.Spittle，clothing debris（lint，fibers etc）hair.
C Tools，Friction and wear particles.Lubricants and emission，Vibrantions.Brooms，mops and dusters.
D Fluid Particulates flowing in air，Becteria，organics and moisture，Floor finish or coatings，cleaning chemicals，plasticizers.Deionized water.
E Product Generated，silicon ehips，Quartz flakes，Aluminum Particles.
7 Typical particles in semiconductor class 100 room air
source percent
Human 46
Dust-Free-Garments 8
Clean Materials 4
Photoresist Pieces 12
Silicon Quartz 22
Other 8
8 Restricted Materials in cleanroom.
A wood wood-made product outgas,shed particles
B silicon Hard to remove
C PVC Rubber Outgas Transter molecular contamination
D Polymer with surrfactant shed carton particles
Certain carbon loaded material surfactant and topical
Topical surface treated materials treatment is volatile
9 Good cleanroom practice
A Vaccum Shoe Brush
B Openning cleanroom Door
C Air Turbulence
D Air Pressure
E Produce Handling
F Harware Packaging
10 無塵控制行業
A chemical
B Nuclear
C Disc Memory
D Silk Screening
E Printed circuit boards |