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產品名稱：Duke SURF-CAL 尺度標準微粒
產品型號：SURF-CAL
產品展商：國產
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簡單介紹

Duke SURF-CAL 尺度標準微粒 NIST*溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標*和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標*提供了便利的工具。產品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規格。

產品描述

Duke SURF-CAL 尺度標準微粒

NIST*溯源尺度標準，用于需要高度視覺反差的尺度標*和參考應用領域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標*提供了便利的工具。產品的粒徑復合儀器廠家所需的各種規格。SURF-CAL系列產品完全符合SEMI行業協會的建立的SSIS標*指導準則，微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍，覆蓋了國際半導體技術藍圖（ITRS）所*義的關鍵質控點。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特*的硅晶片（PSL）表面，用戶*以對掃描儀進行周期性標*，并*與其它的掃描儀進行對比。用戶還*以對生產環節中關鍵階段SSIS的性能做出評估。產品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 10⁸ / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產品還提供10¹⁰ /ml 的產品包裝規格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術粒子分析儀器的客戶需求。

尺度測量方法學：

為了確保與NIST的直接*溯源性，產品的粒徑是直接從NIST提供的標準參考微粒通過電子顯微鏡或光學顯微鏡的測量中直接轉化而成的。尺度的不確*性是依照NIST技術筆記1297方法（1994年版“NIST測量結果不確*性評估指導方案”）計算得到的。產品中所描述的不確*性為擴大性不確*因素，覆蓋因子數為2 （K=2）。

微粒組成：	聚苯乙烯
微粒密度：	1.05g/cm³
微粒數量：	3 x 10⁸ or 10¹⁰顆/毫升
包裝規格：	50ml瓶裝，每盒6瓶
微粒折射率：	1.59 @ 589 nm (25℃)
添加劑：	無
產品保質期：	≥2年
存儲條件：	冰箱儲藏（冰點以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染
包裝內容	標與溯源證書、粒子計數擬程序、原料**數據表（MSDS）

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Duke SURF-CAL 尺度標準微粒