在清理室中因?yàn)榇嬖陟o電，使去除污染變得比較困難。塵粒由于靜電的作用總是容易粘到硅片上，以致產(chǎn)品損壞、優(yōu)率降下。

我們*大的問題是要找到適合清理室使用的防靜電材質(zhì)。在LCD行業(yè)，玻璃基板的變大，吸引電荷的能力也增強(qiáng)。由于基板的尺寸大，任何污染都也許以致優(yōu)率降下。

與其它的污染控制行業(yè)一樣，LCD行業(yè)也一直在尋找能解決ESD問題的新型材質(zhì)。在清理室使用的材質(zhì)也更也許地使用防靜電離子風(fēng)機(jī)，在棉簽和抹布上也可以嘗試發(fā)現(xiàn)新材質(zhì)來代替?zhèn)鹘y(tǒng)材質(zhì)。