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- 產品名稱：1200°C二通道混氣高真空CVD系統 --OTF-1200X-HVC
- 產品型號：
- 產品展商：其它品牌
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- 發布時間：2018-03-30
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簡單介紹
1200°C二通道混氣高真空CVD系統--OTF-1200X-HVC
產品描述
OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區管式爐，二路質子混氣系統和高真空機組組成。其*高工作溫度可達1200℃，極限真空度可達 10-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行**的混氣，然后導入到管式爐內部。
技術參數
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OTF-1200X系列 管式爐
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殼體結構
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采用雙層殼體結構，并帶有風冷.使得殼體表面的溫度小于60度
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內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
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爐管
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材質: 高純石英管
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石英管包含在內.
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可以選擇其他管徑
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功率
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2.5KW
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工作電壓
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AC 208-240V 單相, 50/60Hz
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加熱元件
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Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo，（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，*大程度的延長加熱元件的使用壽命）
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工作溫度
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*高工作溫度.: 1200°C
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連續工作溫度: 1100°C
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加熱速率
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加熱速率: 1~20°C/min 可編程
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加熱區長度
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總加熱區長度: 440mm
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恒溫區長度. : 150mm (±1°C) 注：由于測量手段及外部環境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據，請與我公司銷售人員聯系
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控溫系統
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PID自動控制方式，可設置30段升降溫程序
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控溫儀表操作視頻
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控溫精度: ±1°C
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熱電偶: K 型已經安裝在爐內
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真空密封
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一對不銹鋼真空密封法蘭，已經安裝
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法蘭上已經安裝機械壓力表
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一對精密針閥
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KF-40 的抽氣接口
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功率
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100~110W
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工作電壓
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AC 208-240V , 50/60Hz
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高真空機組
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殼體
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殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
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*大承載量: 600 Lbs on topf:
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分子泵顯示屏： LCD 數字顯示
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殼體內安裝有一臺德國制造的分子泵
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抽氣速率
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N2 33 L/s
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He 39 L/s (2340L/minute)
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H2 32 L/s
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工作范圍
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1000 mbar to <1E-7 mbar
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極限
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<1E-8 mbar (無泄漏)
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質量流量控制器
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殼體
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采用 316不銹鋼制作
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混氣箱尺寸: Φ80X120mm
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外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
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功率
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18W
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工作電源
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AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz
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開門斷電
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為保證使用**，該電爐為開門斷電設計
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質保期
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一年質保期，相關耗材除外，如爐管密封圈加熱元件等易耗件
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CE認證
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所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認證
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若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
    
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使用注意事項
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爐管內氣壓不可高于0.02MPa
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由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加****
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當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態
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進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
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石英管的長時間使用溫度＜1100℃
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對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
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