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產品資料

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵FLP系列

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵FLP系列
  • 如果您對該產品感興趣的話,可以
  • 產品名稱:IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵FLP系列
  • 產品型號:FLP-75W
  • 產品展商:IWAKI易威奇
  • 產品文檔:無相關文檔
簡單介紹
IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵FLP系列,無需阻尼器即可實現低脈動,降低總體成本, 適用于單晶圓工藝的負載追隨性優異,可實現穩定運行。
產品描述

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵FLP系列        

產品特點:

●低脈動

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負載波動期間的跟隨性

●無需阻尼器可節省空間

IWAKI易威/低脈動半導體氣動泵FLP系列FLP-75    產品參數:

*大排放量 92L/min(供氣壓力0.3MPa、淡水25℃)
工作液溫度 5~100℃ 101~150℃ 151~180℃
*大供氣壓力 0.5MPa 0.4兆帕 0.3MPa
*大耗氣量 647NL/分鐘
*大行程數 150次/分鐘
主要成分 聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
*大轉移液粘度 50毫帕·秒
吸入側
連接管直徑
?31.8mm × ?28.0mm (PFA)
Super 300 型 1-1/4" 聯管螺母,帶套筒
排出側
連接管徑
?25.4mm × ?22.2mm (PFA)
Super 300 型 1" 鎖緊螺母,帶套筒

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鄂公網安備 42018502002758號

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