IWAKI易威奇/半導(dǎo)體氣動泵/節(jié)省光刻膠PDS-105R       

產(chǎn)品特點：

●大幅度的省抗蝕劑
由于驅(qū)動源使用的是高扭矩步進馬達，因此即使由于過濾器的堵塞和粘度變化導(dǎo)致排出負荷增加，

排出量也幾乎不會減少，維持高的排出量精度

?噴出精度：±0.3%（F.S.）
?直線性：±0.5%（F.S.）
?分辨率：0.01mL
●無污染
泵部采用了內(nèi)表面平滑、死區(qū)體積小的管板結(jié)構(gòu)。幾乎沒有抗蝕劑液的滯留部，可以防止粒子的產(chǎn)生
●支持多種涂層工藝
由于可以在1個鏡頭內(nèi)任意改變噴出速度，所以可以對應(yīng)微量、短時間涂布等多種抗蝕劑涂布工藝
●縮短停機時間

IWAKI易威奇/半導(dǎo)體氣動泵/節(jié)省光刻膠PDS-105R       產(chǎn)品參數(shù)：