華測儀器 光電測試簡易探針臺的系統配件及其參數

產品參數
型號：Huace-M4  Huace-M6
臺體
尺寸：4英寸  6英寸
水平旋轉：可360°旋轉，可微調15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y 移動行程：2英寸*3英寸
X-Y 移動精度：10μm
樣品固定：真空吸附，多圈吸附環
針座平臺：左右各一個針座平臺，至多可放置 6 個探針座
背電極測試：樣品臺電學懸空，4mm 插孔可接背電極
顯微鏡
顯微鏡類型：單筒顯微鏡 / 體式顯微鏡
放大倍率：16X - 200X
移動行程：水平方向繞立柱360°旋轉，Z軸50.8mm
光源：外置LED無級調節亮度環形光源
CCD：200 萬像素 / 500 萬像素 / 1200 萬像素
探針座
X-Y-Z 移動行程：12mm*12mm*12mm
移動精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm
吸附方式：磁力吸附/真空吸附
探針夾具
線纜：同軸線 / 三軸線
漏電精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探針：彈簧固定 / 管狀固定
接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子
探針
針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm
材質：鎢鋼/鈹銅
外形尺寸：400mm長*380mm寬*500mm 高
重量：約20kg
可選附件（可按需定制）：
加熱臺
顯示器
轉接頭
射頻測試配件
屏蔽箱
光學平臺
鍍金卡盤
光電測試配件
應用領域
01 設備可滿足 I-V/C-V、PIV 測試、光電測試等多種測試需求，適配 6 英寸以內的樣品測試場景。
02 設備采用同軸絲杠傳動結構，能夠實現終線性移動，同時支持放置于手套箱內使用，適配特殊環境測試需求。
03 該設備整體形狀輕巧，操作簡單，能夠為各類樣品測試提供了可靠的測試方案，可應用于半導體器件研究、光電子與顯示技術、工業與工程應用等領域