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- 產(chǎn)品名稱：微波等離子去膠機(jī)
- 產(chǎn)品型號：WB600
- 產(chǎn)品展商：Guarder 戈德爾
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
等離子去膠機(jī)有幾種稱謂，又稱等離子體去膠機(jī)，等離子表面去膠機(jī),等離子去膠儀,電漿去膠機(jī)，plasma去膠機(jī)，等離子去膠設(shè)備，等離子表面去膠設(shè)備，等離子體去膠機(jī)，等離子體去膠器，等離子體去膠儀，等離子去膠，等離子體去膠，等離子體去膠設(shè)備
WB600微波等離子去膠機(jī)采用**高密度微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清洗、去膠和等離子體預(yù)處理，微波等離子高度活性、高效，且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。
產(chǎn)品描述
>> 產(chǎn)品特點
WB600微波等離子去膠機(jī)采用**高密度微波等離子技術(shù)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理，微波等離子去膠機(jī)具有高度活性、高效，且不會對電子裝置產(chǎn)生離子損害。
微波等離子去膠機(jī)是下列用途的理想方式：
·等離子體表面改性
·有機(jī)物表面等離子體清潔
·邦定強度增強
·等離子體刻蝕應(yīng)用
·等離子體灰化應(yīng)用
·增強或減弱浸潤性
·其它等離子體系統(tǒng)應(yīng)用
微波等離子去膠機(jī)在封裝工藝中的應(yīng)用：
·防止包封分層
·提高焊線質(zhì)量
·增加鍵合強度
·提高可靠性，尤其是多接口的**封裝
·提高產(chǎn)能
·節(jié)約成本
GDR微波等離子去膠機(jī)的優(yōu)勢：
·先進(jìn)微波技術(shù)
·無電極等離子發(fā)生器和高密度自由基使料盒內(nèi)部清洗處理達(dá)到高度一致性
·定制等離子反應(yīng)器
·氣體輸入和泵速的控制
·離子密度高，一致性好
·在線兼容
·優(yōu)化加工條件
>> 技術(shù)參數(shù)
◆ 外形尺寸(不包括報警燈)
1000(W)×800(D)×1750(H)mm
◆ 倉體結(jié)構(gòu)(鋁，約125升)
450(W)×450(D)×450(H)mm
◆ 旋轉(zhuǎn)平臺
Φ 350mm ，轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)
◆ 等離子發(fā)生器(美國)
頻率2.45GHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),可連續(xù)長時間工作
◆ 控制系統(tǒng)
觸摸電腦+PLC全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界有名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)
英國愛德華爪式干泵 GV100
美國MKS真空壓力控制節(jié)流閥及薄膜式傳感器
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN63不銹鋼真空波紋管
◆ 充氣系統(tǒng)
美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(2路氣體配制)
美國世偉洛克氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
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