等離子清洗機原理 等離子清洗機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，這時會發出輝光，故稱為輝光放電處理。 輝光放電時的氣壓大小對材料處理效果有很大，影響另外與放電功率，氣體成分及流動速度、材料類型等因素有關。 等離子清洗機原理 這種等離子體有一些顯著的特征： 1 .氣體產生輝光現象，常稱為“輝光放電” 。由于是真空紫外光，其對蝕刻率有十分積極的影響。 2. 氣體中包含中性粒子、離子和電子。 由于中性粒子和離子溫度介于102 —103K，電子能量對應的溫度高達105K ，它們被稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”。 但是它們卻表現出電中性準中性。
3. 氣體所產生的自由基和離子活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應。等離子體中粒子的能量一般約為幾個至幾十電子伏特，大于聚合物材料的結合鍵能(幾個至十幾電子伏特)， 完全可以破裂有機大分子的化學鍵而形成新鍵；但遠低于高能放射性射線，只涉及材料表面不影響基體的性能。 等離子清洗機原理