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無塵室空氣潔凈度標準

無塵室空氣潔凈度標準


■ 潔凈室及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于表中粒徑的*大濃度限值(pc/m3)

　

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

1

10

2

 

 

 

 

2

100

24

10

4

 

 

3

1000

237

102

35

8

 

4

10000

2370

1020

352

83

 

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

 

 

 

352000

83200

2930

8

 

 

 

3520000

832000

29300

9

 

 

 

35200000

8320000

293000

 

■ 美國聯邦標準（USA Federal Standard）209E（1992年）

潔凈度級別

粒   徑 (um)

　

0.1

0.2

0.3

0.5

5.0

1

35.0

7.50

3.00

1.00

NA

10

350

75.0

30.0

10.0

NA

100

NA

750

 

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