技術參數
1.真空度測量范圍： 9.999×10-1～1×10-6
2.離子電流測量范圍： 9.999×10-1～1×10-7
3.測 量 誤 差： ＜10%
4.測 量 分 辨 率： 10-5pa
5.允許環境溫度： -20℃～50℃
6.空 氣 濕 度： ≤80%RH
7.電 源： AC，220V，50Hz±10%
8.外 型 尺 寸： 420×290×210（mm）
9.高 壓 輸 出： 脈沖≤30kV15kHz
⒑重 量： 8kg