五、使用方法
SHSZ82型數(shù)字式四探計(jì)測(cè)試儀能夠測(cè)量普通電阻器的電阻（V/I之比，不乘系數(shù)）、體電阻率、薄片電阻率、擴(kuò)散層的方塊電阻，（后三項(xiàng)需乘上不同的系數(shù)）。
1. 操作概述：
⑴測(cè)試準(zhǔn)備：將220V電源插頭插入電源插座，電源開關(guān)置于斷開位置，工作選擇開關(guān)置于“短路”位置，電流開關(guān)處于彈出切斷位置。
將測(cè)試架的插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來，松開測(cè)試架立柱處的高度調(diào)節(jié)手輪，將探頭調(diào)到適當(dāng)位置和高度，測(cè)試樣品應(yīng)進(jìn)行噴砂和清潔處理，放在樣品架上，使探針能與其表面良好接觸，并保持一定壓力；調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度使之達(dá)到要求的測(cè)試條件。
⑵測(cè)量：
將電源開關(guān)置于開啟位置，數(shù)字顯示亮，儀器通電預(yù)熱1小時(shí)。
極性開關(guān)撥至上方，工作狀態(tài)選擇開關(guān)置于“測(cè)量”，撥動(dòng)電流量程開關(guān)和電壓量程開關(guān)，置于樣品測(cè)量所適合的電流、電壓量程范圍，電流調(diào)節(jié)電位器調(diào)到適合的電流值（方法見“注意事項(xiàng)”），調(diào)節(jié)電壓表的粗調(diào)和細(xì)調(diào)調(diào)零，使數(shù)字顯示為“0000”，按下電流開關(guān)輸出恒定電流，即可由數(shù)字顯示板和單位顯示燈直接讀出測(cè)量值。如果數(shù)字出現(xiàn)閃爍，則表示測(cè)量值已超過此電壓量程，應(yīng)將電壓量程開關(guān)撥到更上等；讀數(shù)后切斷電流開關(guān)，數(shù)字顯示將恢復(fù)到零位。在儀表處于高靈敏電壓檔時(shí)要經(jīng)常檢查零位。再將極性開關(guān)撥至下方（負(fù)極性），按下電流開關(guān)，從數(shù)字顯示板和單位顯示燈可以讀出負(fù)極性的測(cè)量值；將兩次測(cè)量獲得的電阻率值取平均，即為樣品在該處的電阻率值。
測(cè)量電阻、方塊電阻時(shí)，可以按表1所示的電壓、電流量程進(jìn)行選擇。
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電流\電阻\電壓
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0.2mV
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2mV
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20mV
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200mV
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2V
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100Ma
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2mΩ
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20mΩ
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200mΩ
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2Ω
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20Ω
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10mA
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20mΩ
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200mΩ
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2Ω
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20Ω
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200Ω
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1mA
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200mΩ
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2Ω
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20Ω
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200Ω
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2kΩ
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100μA
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2Ω
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20Ω
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200Ω
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2kΩ
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20kΩ
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10μA
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20Ω
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200Ω
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2kΩ
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20kΩ
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200kΩ
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表1 電阻及薄層電阻測(cè)量時(shí)電壓、電流量程選擇
測(cè)量電阻率時(shí)，預(yù)估的樣品電阻率范圍和應(yīng)選擇的電流范圍對(duì)應(yīng)關(guān)系如表2所示。
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電阻率范圍（Ω-cm）
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電流檔
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<0.012
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100mA
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0.008-0.6
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10mA
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0.4-60
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1MA
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40-1200
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100μA
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>800
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10μA
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表2 測(cè)量電阻率所要求的電流值
根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及儀器性能，從保證測(cè)試精度考慮，在電阻率測(cè)試時(shí)，推薦用戶采用以下電流、電壓量程組合，見表3所示。
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電流\電阻率\電壓
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0.2mV
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2mV
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20mV
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200mV
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2V
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100mA
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10-4～10-3
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10-3
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10mA
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10-3～10-2
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10-1
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1mA
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10-1
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1～20
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10～50
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102～103
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100μA
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200～500
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103～104
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10μA
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105
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表3 電阻率測(cè)量時(shí)推薦的電流電壓量程選擇
2. 注意事項(xiàng)：
⑴測(cè)量電流值的調(diào)節(jié)，工作選擇開關(guān)置于“I調(diào)節(jié)”位置，電流量程開關(guān)與電壓量程開關(guān)必須放在表4所列的任一組對(duì)應(yīng)的量程上。
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電壓量程
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2V
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200mV
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20mV
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2mV
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0.2mV
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電流量程
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100mA
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10mA
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1mA
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100μA
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10μA
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表4 電流調(diào)節(jié)和自校時(shí)必須對(duì)應(yīng)的電流電壓量程
按下電流開關(guān)，調(diào)節(jié)電流電位器，可以使電流輸出在0～10.00范圍內(nèi)，調(diào)到數(shù)字顯示出測(cè)量所需要的電流值（例6.28，4.53等）。當(dāng)電流調(diào)節(jié)電位器的指針盤上的刻度旋轉(zhuǎn)到100時(shí)數(shù)字顯示為10.00，是相應(yīng)電流量程的滿度值。電位器指針顯示的數(shù)值是粗略的電流值，準(zhǔn)確的電流值應(yīng)由數(shù)字表顯示讀出。在調(diào)節(jié)好某一量程電流輸出值后，其它各量程的電流會(huì)按此比例數(shù)字輸出，不同量程的電流值的顯示允許相差±2字。一旦電流值調(diào)節(jié)好后，不必每次測(cè)量都調(diào)節(jié)，只需觀察電流調(diào)節(jié)電位器指針是否處于對(duì)應(yīng)的位置即可。
⑵儀器自校，儀器內(nèi)部裝有精度為0.02%、阻值為19.96Ω的標(biāo)準(zhǔn)電阻，供校驗(yàn)主機(jī)中數(shù)字電壓表和恒流源的精度之用。
自校時(shí)，工作選擇開關(guān)置于“自校”位置，電流量程開關(guān)和電壓量程開關(guān)按表4設(shè)置。
調(diào)節(jié)好電壓表零位，按下電流開關(guān)則數(shù)字顯示板顯示出“199×”，各量程數(shù)值允許相差±4字，如果數(shù)值超差，可以調(diào)節(jié)機(jī)內(nèi)壓板上“I調(diào)節(jié)”窗孔內(nèi)的電位器，使數(shù)字恢復(fù)到“199×”值。
⑶棒狀、塊狀樣品電阻率測(cè)量，按測(cè)量步驟進(jìn)行，由表（5-3）選擇電壓電流量程。
若將電流I值調(diào)節(jié)到與C相等，（C≈6.28。C為探針修正系數(shù)。）則ρ=V，顯示值等于樣品的電阻率值。
⑷薄片電阻率測(cè)量，按測(cè)量步驟進(jìn)行，根據(jù)表3選擇電壓和電流量程。
當(dāng)薄片厚度>0.5mm時(shí)，按公式（3-3）計(jì)算ρ。
當(dāng)薄片厚度<0.5mm時(shí)，按公式（3-4）計(jì)算ρ。
⑸方塊電阻測(cè)量，按測(cè)量步驟進(jìn)行。電流電壓量程按表1選擇，當(dāng)將恒流源輸出電流I 值調(diào)至等于4.53時(shí)，此時(shí)從數(shù)字表上讀出的數(shù)值再乘上10即為實(shí)際的方塊電阻值。
⑹電阻（V/I）測(cè)量，用四端子測(cè)量線作輸入線，按圖5所示夾持好樣品，按測(cè)量步驟進(jìn)行；由表1選擇適合的電流和電壓量程；在“I”調(diào)節(jié)位置，將電流值調(diào)到該量程滿度值（10.00）；再轉(zhuǎn)至測(cè)量位置，此時(shí)數(shù)字表上讀出的數(shù)值為樣品的電阻值。
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