測量顯微鏡
觀察、測量和處理系統化的顯微鏡陣容
MF
176 系列 — 測量顯微鏡
MF 測量顯微鏡具有可擴展性，如與三豐
公司 Vision Unit 一起使用可提高其性能，
或者可在 PC 中進行數據管理，從而確保提
高效率。
特點
•可觀察清晰無閃爍正像，且視場開闊。
•測量精度在同類設備中高
(符合 JIS B 7153 標準)。
•使用 ML 系列，專門為 MF 系列設計的高
-NA 物鏡 (長工作距離型)。
•照明裝置 (反射／透射) 可選用高亮度 LED
燈泡或鹵素燈泡 (必選)。
•利用可變孔徑光闌 (反射／透射) 可進行無
衍射觀察測量。
•各類標準工作臺的尺寸大達到 400 ×
200mm。
•快速釋放裝置便于在測量工件大或測量
工件數量多時快速移動工作臺。
•粗調／細調進給手柄作為標準配置安裝在
兩側，便于準確聚焦與觀察測量，不受
用左手或右手習慣的影響。
•高倍目鏡觀察，高達 2000X。
•標準測量顯微鏡，配有種類繁多的可選附
件，包括 Vision Unit 影像裝置與各種 CCD
數碼相機。
性能參數
型號 (XY 工作臺尺寸) 1010C 2010C 2017C 3017C 4020C
貨號 * MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665* 176-666*
MF-B 176-682* 176-683* 176-684* 176-685* 176-686*
XY 工作臺行程范圍 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動范圍 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調焦方式 手動調焦 (粗調焦 : 30mm/rev., 微調焦 : 0.2mm/rev.)
測量方法 線性編碼器 (2 軸型 : X / Y 軸 , 3 軸型 : X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm
測量精度 (20ºC 時) XY 軸 : (2.2+0.02L)µm, L 為無負載測量長度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20ºC 時) Z 軸 : (5+0.04L)µm, L 為測量長度 (mm)
浮動功能 帶有快速釋放功能的 X 和 Y 軸
XY 工作臺臺面尺寸 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉功能 — — ±5? (左) ±5? (左) ±3? (左)
臺面大承重 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
大工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
*在貨號后加上以下后綴 (如 : 176-662-10): -10 適于英國手動用戶 11 適于中國手動用戶 , 無后綴適于日本手動用戶