測量顯微鏡
觀察、測量和處理系統化的顯微鏡陣容
Hyper MF/MF-U
176 系列 — 高精度測量顯微鏡
特點
?高精度 XY 測量精度為
(0.9+3L/1000)μm。
?可選擇 LAF (激光自動對焦) 功能。
?良好的操作性能和重復精度。
?三軸電動控制。
?標配電動自動聚焦裝置。
性能參數
型號 Hyper MFB2515B
Hyper MFUB2515B
Hyper MFUD2515B
Hyper MFUE2515B
Hyper MFUF2515B
貨號 (mm) 176-430* 176-431* 176-432* 176-433* 176-434*
觀察類型 — BF BF 或 BF/BD BF BF 或 BF/BD
數顯計數器 — — — — —
激光自動對焦功能 — — — 提供 提供
XY 工作臺行程范圍 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm 250 x 150mm
測量裝置 線性編碼器 線性編碼器 線性編碼器 線性編碼器 線性編碼器
分辨率 0.01μm 0.01μm 0.01μm 0.01μm 0.01μm
測量精度 (20oC 時 ) (0.9+3L/1000)μm, L 為 XY 軸 為無負載測量長度 (mm)
驅動系統 (X, Y, Z 軸 ) 帶操縱桿的電動驅動控制
XY 工作臺臺面尺寸 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm 460 x 350mm
載物玻璃有效尺寸 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm 300 x 200mm
旋轉功能 ±3? ±3? ±3? ±3? ±3?
臺面大承重 30kg 30kg 30kg 30kg 30kg
大工件高度 150mm 150mm 150mm 150mm 150mm
* 為區分交流電源電纜，在貨號后加上以下后綴 : A 適于 UL/CSA, C 適于臺灣 , D 適于 CEE, DC 適于 CCC, E 適于 BS, K 適于 EK, 無后綴適
于 JIS/100V