壓力傳感器——發展現狀
壓力傳感器 具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定可靠、成本低、便于集成化的優點, 可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。還廣泛應用于水利、地質、氣象、化工、醫療衛生等方面。由于該技術是平面工藝與立體加工相結合, 又便于集成化, 所以可用來制成血壓計、風速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等。壓力傳感器已成為各類傳感器中技術*成熟、性能*穩定、性價比*高的一類傳感器。目前國內外關于壓力傳感器的研究，主要有光纖壓力傳感器、電容式壓力傳感器，耐高溫壓力傳感器、硅微機械加工傳感器、具有自測試功能的壓力傳感器、多維力傳感器五種類型。其中電容式真空壓力傳感器因自熔焊接圓環的特殊作用可以防止泄露任何污染介質等具有廣泛的應用前景。 從已經獲得的參考文獻來看，國際上美、日、英、法、德和獨聯體等國都把傳感器技術列為國家重點開發關鍵技術之一，其中光纖壓力傳感器是一種研究成果較多的傳感器, 但投入實際領域的并不是太多，六維力傳感器的研究和應用是多維力傳感器研究的熱點, 現在國際上只有美、日等少數國家可以生產。在我國跟蹤國外發展的基礎上, 又開創性的研制出組合有壓電層的柔軟光學陣列觸覺,能抓握和識別雞蛋和鋼球, 現已用于機器人分選物品。
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