德國SIKA公司的微小流量檢測-超聲波流量計
半導體制造業、生物工程、精細化工等的興起，使流量測量向低端延伸，小流量微小流量的需求在上世紀80～90年代凸顯起來。何謂小流量？業界尚無公認的定義和界限，小流量因應用領域而異是一個模糊的概念。管道小流量測量體現于管徑小和流速低兩個層次，就流程工業而言，習慣上DN10甚至DN15以下管徑流量測量稱之小流量測量，通常其流量值液體為1L/min或0.06m3/h以下，流量儀表滿度流量時的流速低于0.1m/s。傳統小流量測量技術節流差壓(層流)法、浮子法和容積法等有了**的改進，新測量技術如超聲法、熱法、科里奧利法等也有成效地應用于液體和氣體小流量測量。
一，微小流量測量特征
小流量、微小流量測量很大程度是在半導體制造業需求的激發下獲得發展的，從超凈氣體到純水、藥液的流量測量和控制。當代食品醫藥、精細化工及各行業試驗工廠定量加液和混合配比，今后生物產業繁多其應用也促進小流量儀表的研究開發。微小流量測量與一般流量測量相比較，具有以下特點。
1. 雷諾數低
2. 要用實際使用流體校準
用空氣校準。若知道實際測量流體與校準流體間某些物性不同對示值有規律變化時，中大管徑流量儀表常以適當系數修正。但有些小流量儀表受黏度等流體物性影響大，須以實際使用流體校準。所幸流量小，用實際使用流體校準難度不大，但在作有害性流體校準時應注意**和環境污染。
3. 要求測量時防止污染流體
若測量潔凈氣體和純水常不允許接觸流體的儀表零件材料析出離子，例如半導體制備中儀表不能用金屬和玻璃制成，只能用塑料。流體中也不容許混入活動件的磨蝕塵粒。流量儀表流通通道要盡可能簡單，不應有潴留部位，防止潴留介質變質。
4. 氣泡和塵埃附著的影響
因管徑小黏性增加，液體中微細氣泡易在管系流動過程中積聚變大，使測量時指示不穩，**度下降。流體中塵埃附著測量元件也要影響測量值，例如浮子流量計的浮子上沉積有肉眼覺察不出的附著層也會影響示值。
二，微小流量測量儀表
1. 差壓式
2. 浮子流量計
3. 容積式流量計
4. 熱式流量計
5. 超聲流量計
6. 科里奧利質量流量計
7. 電磁流量計
8. 示蹤式流量計
公安機關備案號：
