新品推介:氣體質量流量控制器M3090V,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,無需溫度壓力補償。氣體質量流量控制器M3090V是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩流裝置,能在較寬的量程范圍內快速而**地控制氣體流量。即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微的變化,也不會影響其正常的工作。
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氣體質量流量控制器M3090V產品亮點:
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-類 型:MFC氣體質量流量控制器
-控制范圍:10sccm ~ 20slpm (sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分)
-準度等級: ±1% F.S
-耐 壓:≤90bar
-標準接口:0-5VDC,4-20mA可選
-響應時間:≤2sec
-使用范圍:2~100%for max range
-供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma
-漏 率:1×10-9atm·cc/sec
-氣路連接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR
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-適用介質:所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體)
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-無需溫度、壓力補償
氣體質量流量控制器M3090V
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應用領域:
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料電池
-生物技術 -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機 -混氣配氣系統 -微反應裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料電池
-生物技術 -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機 -混氣配氣系統 -微反應裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業



公安機關備案號:



