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新品推介:氣體質量流量控制器M3090V

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點擊量: 268836 來源: 大連風華傳感科技有限公司
新品推介:氣體質量流量控制器M3090V,采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,無需溫度壓力補償。氣體質量流量控制器M3090V是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體流量的穩流裝置,能在較寬的量程范圍內快速而**地控制氣體流量。即使系統壓力有波動或環境溫度有輕微的變化,也不會影響其正常的工作。
 
氣體質量流量控制器M3090V產品亮點:
 
-類    型:MFC氣體質量流量控制器
-控制范圍:10sccm ~ 20slpm (sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分) 
-準度等級: ±1% F.S
-耐    壓:≤90bar
-標準接口:0-5VDC,4-20mA可選
-響應時間:≤2sec
-使用范圍:2~100%for max range
-供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma
-漏    率:1×10-9atm·cc/sec
-氣路連接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR
-適用介質:所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體)
-無需溫度、壓力補償
 
氣體質量流量控制器M3090V
 
產品型號
M3090V
M3090A
  流量范圍 (N2)
 10sccm ~20slpm
10sccm~ 20slpm
  響應時間
 ≤2秒
  ≤2秒
  準確度
  ≤±1% 滿量程
  ≤±1% 滿量程
 重復精度
  ≤±0.25% 滿量程
 ≤±0.25% 滿量程
 輸出輸入信號
 0~5Vdc
  0~5Vdc或4~20毫安
  供電
 +15~+28Vdc,350毫安
  +15~+28Vdc,350毫安
  耐壓
  ≤90bar
 ≤90bar
 工作環境溫度
  0~50°C
  0~50°C
 
應用領域:
-分析儀器    -干刻(RIE/DRIE)    -燃料電池
-生物技術    -氣相色譜分析        -等離子刻蝕
-激光焊機    -混氣配氣系統        -微反應裝置
-真空鍍膜    -過程自動化          -石化工業
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