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PECVD系統爐 PECVD爐 TL1200-H-PE-I

產品價格: < 面議
產品型號:TL1200-H-PE-I
 牌:其它品牌
公司名稱:天津天有利科技有限公司
  地:天津武清
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產品簡介

PECVD系統爐在傳統PECVD系統基礎上實現了快速加熱、冷卻功能,該爐底部安裝了一對滑軌,可手動滑動。PECVD系統爐采用雙層殼體結構。該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的**。加熱和冷卻速率*大可達100°C/min。為取得*快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得*快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/S,是低成本快速熱處理的理想爐。

產品詳細信息

該PECVD系統爐在傳統PECVD系統基礎上實現了快速加熱、冷卻功能,該安裝一對滑軌,可手動滑動。采用雙層殼體結構該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的**。加熱和冷卻速率*大可達100°C/min。為取得*快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得*快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/S,是低成本快速熱處理的理想爐

PECVD系統爐技術參數: 

1.溫控方式:智能化30段可編程控制            2.*高溫度:1200℃                 3.電壓:220V 

4.額定溫度:1150℃                           5.熱電偶:K                      6.加熱段長:400mm

7.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲                                

8.升溫速率:≤20℃/min   推薦升溫速率:≤10℃/min       

9.真空法蘭和接頭:詳細參數請轉看第31頁  

10.質量流量計:詳細參數請轉看第31頁   

11.射頻電源:詳細參數請轉看第31頁   

型號

TL1200-H-PE-I

TL1200-H-PE-II

TL1200-H-PE-III

爐管尺寸

Φ60X1800

Φ80X1800

Φ100X1800

功率(KW)

2.5

3.5

3.5

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